TS300-SE Probe System

MPI TS300-ShielDEnvironment™（TS 300-SE）12インチプローブ台は、300 mmウェハ及び以下の微小デバイスに対して高級EMI/RFI/非透過遮蔽、超低ノイズ、低漏洩測定機能環境を提供することを目的としている。最高の高さで防振台と結合しており、日常的な操作を容易にしています。

多様なウェハ測定用途に適している

• コンポーネント特性の記述とモデリング、無線周波数とミリ波、ウェハレベル信頼性（WLR）、故障解析（FA）など
• MPI ShielDEnvironment™ シールド環境
• EMI/RFI/Light-Tightシールド用に設計された精密測定環境
• 支援飛安レベル低漏電値測定
• 内蔵防振システム
• 温度測定範囲-60°Cから300°C

ShielDEnvironment™

MPI ShielDEnvironment™超低雑音、低容量測定を提供し、優れたEMIと光を透過しない試験環境を提供する高性能のマイクロ暗室遮蔽システムです。

ShielDCap™

MPI ShielDEnvironment™マイクロ暗室遮蔽システムは、4ポートまでのRF、または8ポートまでのDC/Kelvinなど、さまざまな組み合わせのテストポートフォリオを提供します。

MPI ShielDCap™遮蔽が容易で、再配置が容易で、日常的な操作を簡略化する上で重要な役割を果たしている。

くうきじくうけ

MPI独特のエアクッションステージ設計は、簡単な片手スケーラブル制御を持ち、迅速なXYナビゲーションとウェハロードに比類のない操作利便性を提供するとともに、精密な25 x 25 mmのXY-Thetaマイクロコアを持ち、正確な位置決め能力に影響を与えない。

独自のチャックZ調整

TS 300-SEは空気軸受XYテーブルのほかに5 mmのZ吸盤調整（μm分解能）を含み、正確な接触/超距離制御またはプローブカード落下先端補正を実現することができる。

1 mmスケールインジケータはオペレータに簡便なフィードバックを提供し、また20 mmエアリフトは携帯型のワンタッチ昇降プログラムを提供した。

複数のチャックオプション

TS 300-SEは、さまざまな予算とアプリケーション要件を満たすために、さまざまなチャックオプションを提供します。

MPIとERSは新型300 mmホットチャックAirCoolを共同設計した®PRI技術シリーズは、比類のない熱弾性を提供し、温度制御時間を60%削減することができ、同時に市場で最大の熱範囲を提供することができる。

変換時間を削減し、電気性能を改善し、不活性ガス環境下でのテストを容易にし、その他の現場のアップグレード可能性はAirCool®PRIホットチャックシステムの付加価値。

チャックには、同軸、三軸またはRF、高圧などの複数のモデルがあり、2つの補助セラミックチャックがあり、正確で安定したキャリブレーションに使用できる。

温度制御集積

ウェハローディングゲートは15°C未満の任意の温度でロックでき、この独自の機能によりTS 300-SEは市場で最も安全な手動プローブ台になる。

さらに、温度制御システムは、迅速な調整と即時のフィードバックを実現するために、人間工学的原理に基づいて検出器に設置された便利な位置に統合されたタッチスクリーンを介して動作することができます。

MERS独自のAC 3冷却技術

MPI傘下のプローブステーションシステムはいずれもERS独自のAC 3冷却技術とその空気管理システムを採用しており、MPI ShielDEnvironmentを「使用済み」空気から直接除去することができる™，市場の他のシステムに比べて、乾燥空気消費量を最大30〜50%削減することができる。

複数の光学オプション

MPI光学素子は単筒顕微鏡MPI SuperZoomを選択できる™SZ10，光学12倍ズームまで可能なMegaZoom™MZ 12または42 mmの動作距離を超えるEeyZoom™EZ 10−人間工学的20倍接眼レンズを有する10倍光学ズームシステムであり、90 mm動作距離と2 um以下の光学分解能を有する。